Авторы: Ю А Родионов
Ю. А. Родионов. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. М.:Инфра-Инженерия, 2019
Не получается найти нужный источник? Попробуйте нашу услугу по подбору и оформлению источников литературы.
Фрагмент книги
Библиографическое описание
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Сведения об ответственности: Ю А Родионов
ISBN: 978-5-9729-0337-5
Готовые работы, где использовался источник
Развитие наноэлектроники
140₽
- Реферат
- Электроника, электротехника, радиотехника
- Выполнил: user177111
развитие технологий кремниевой микро- и наноэлектроники
224₽
- Реферат
- Философия
- Выполнил: EkaterinaKonstantinovna
Так же вы можете купить уже выполненные работы. Для удобства покупки работы размещены на независимой бирже. Нажимая "Купить" вы будете перенаправлены на страницу карточки работы.
Гарантия на работу 10 дней.